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井勤在中關村附近的酒店公寓為這些學生安排了住處，大家都向單位請了長假，隨時準備著投入研發工作。

他們現如今都是計算機領域、機械領域及電子光學領域的科研人員，對光刻機的原理有一定的理論基礎，加上任泫寒和蔣凡晞自己，以及外聘的工程師、教授和技術員，一支二十多人的光刻機研發隊伍組成了。

團隊裏有幾位是國內另一家光刻機製造公司的工程師。他們有多年的光刻機整機製造經驗，在他們的協助下，研發光刻機所需的設備、技術、配件和實驗室很快就落實了。

項目由這幾位工程師帶頭，蔣凡晞作為項目領頭人，早早拿到了工藝圖紙。

建造一台光刻機不難，難的是找到突破口，研究出目前世界上最先進的5nm光刻技術。

“咱們國家目前的情況是——”

會議室裏，項目總工程師鍾宏正跟大家詳細介紹國內目前的光刻機技術。

“28nm已經研發成功，今年量產。不過實驗室現在已經有22nm光刻技術的研究成果，但能不能投入使用，還要經過一段時間的試驗。”

坐在投影幕布對麵、會議長桌主位上的蔣凡晞在資料冊上寫下備注：“28nm可量產，22nm待定。”

鍾宏繼續發言：“目前，能做5nm光刻機的隻有荷蘭那家，它的技術是euv極紫外線，用的是13.5nm波長的光源，這是突破10nm芯片製程節點必不可少的工具。”

有人附議：“他們euv極紫外線的光源也是找美國進口。”

蔣凡晞點點頭，在資料冊上簡單備注後，總結道：“意思就是——即使我們有euv技術，但也不一定能進口到最佳光源。要徹底解決這個問題，隻能是完全摒棄euv技術，另辟蹊徑，尋找其他替代性的技術。”

“是這樣沒錯。其實70年代咱們就已經有製造光刻機的經驗了，經驗是很充足的，但低納米技術的光刻機為何遲遲做不出來？就是卡在這裏！什麽時候突破這個節點，咱們就不必再被人卡著脖子了。”

鍾宏笑說：“與其說咱們在研發5nm光刻機，倒不如說研發替代euv的新型光源技術。說研發光刻機聽上去太難太累，那麽大一台機子，壓在心口上喘不過氣啊是不是？咱們說研發一個什麽技術，那聽上去就輕鬆多了，是吧？所以大家放鬆點，咱們可以的！”

大夥都笑了，會議室裏響動著年輕的笑聲，原本嚴肅的氣氛輕鬆了不少。

蔣凡晞也笑了。

確實聽鍾宏這麽一番講解，心情好像沒那麽壓抑了。

她自己做研發工作的，最能理解研發成果有時候也受情緒的影響。

鍾宏在投影幕布前講解著目前幾大可能替代euv的光源技術，然後將與會所有人員分成三個小組，每一組負責研發一種替代技術，什麽時候研發出來，什麽時候結束。

蔣凡晞沒有參與分組，因為她打算到時候每一組都去看看情況。

……

實驗室每一天都在燒錢，做研發工作需要大量資金的支持，蔣凡晞和任泫寒決定各自減持手頭上20%的fx的股份，套出四億現金用以支持光刻機的研發。

－－－－－－題外話－－－－－－

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